《纳米技术》是“电子科学与技术”、“微电子科学与工程”、“集成电路科学与工程”等学科、专业高年级学生的选修课程。主要讲授了纳米科技基础知识，纳米表征、观测与操纵技术，纳米材料、结构、器件的特性、制备方法及应用技术。通过学习本课程，学生将具备纳米基础知识，掌握纳米表征、加工技术，以及纳米材料、结构、器件在电、光、磁等领域的应用技术。为从事纳米材料加工，纳米新技术开发，纳米器件研制等工作奠定良好基础。

本课程内容新颖，紧贴纳米科技前沿，采用国内外最新研究文献和参考书籍作为电子教材。

使你了解什么是纳米科技，熟悉主要的纳米测量与表征技术、纳米加工技术、纳米应用技术，掌握关键纳米技术的原理、方法，以及应用。

应具备半导体物理及工艺的基础知识。

1.     纳米结构和材料，张立德，牟季美编著，科学出版社，2011，1

2.   纳米半导体材料和器件，肖奇编著，化学工业出版社2013、4 

3.     纳米材料和器件，朱静编著，清华大学出版社2003、4

4.       纳电子学基础，G. W. Hanson著侯士敏等译，清华大学出版社2009、1 

5.  杂志、网络资料