薄膜凭借其微小的体积和优异的性能，在电子信息、能源环境、机械化工、航空航天、制造加工、生物医学等国民经济主要行业和领域中发挥着越来越重要的作用。本课程面向所有理工科高年级本科生以及研究生，课程内容包括真空技术简介、物理气相沉积、化学气相沉积、化学溶液法、薄膜的生长及结构、薄膜性能测试和结构表征。该课程旨在引导学生了解电子薄膜技术的发展概况，理解真空技术的相关知识，掌握薄膜制备的技术体系及典型技术。从而能够在薄膜制备过程中，了解薄膜工艺、结构与性能的关联机制，初步掌握薄膜物理与制备技术，为进一步开展薄膜材料的性能优化及应用研究奠定基础。
通过课程学习，了解电子薄膜技术的发展概况，真空技术的相关知识和薄膜制备的技术体系，掌握典型的薄膜制备技术方法，能够在薄膜沉积中考虑到各种技术参数对薄膜附着力、厚度均匀性、结构、缺陷的影响，并了解薄膜结构及性能的表征方法。
《固体物理》
为积极响应国家低碳环保政策， 2021年秋季学期开始，中国大学MOOC平台将取消纸质版的认证证书，仅提供电子版的认证证书服务，证书申请方式和流程不变。
电子版认证证书支持查询验证，可通过扫描证书上的二维码进行有效性查询，或者访问 https://www.icourse163.org/verify，通过证书编号进行查询。学生可在“个人中心-证书-查看证书”页面自行下载、打印电子版认证证书。
完成课程教学内容学习和考核，成绩达到课程考核标准的学生（每门课程的考核标准不同，详见课程内的评分标准），具备申请认证证书资格，可在证书申请开放期间（以申请页面显示的时间为准），完成在线付费申请。
认证证书申请注意事项：
1. 根据国家相关法律法规要求，认证证书申请时要求进行实名认证，请保证所提交的实名认证信息真实完整有效。
2. 完成实名认证并支付后，系统将自动生成并发送电子版认证证书。电子版认证证书生成后不支持退费。
1. 唐伟忠．《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版，冶金工业出版社，2003年1月
2. 田民波 .《薄膜技术与薄膜材料》，清华大学出版社，2006年8月
3. M. Ohring.《Material Science of Thin Films－Deposition & Structure》，世界图书出版公司影印版，2006年
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教授
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